高階透鏡加工技術

本團隊發展「大氣微電漿束修整技術」與「離子束面型修整技術」兩項關鍵非傳統加工技術，可應用於球面、非球面及自由曲面等高精度光學元件之面型修整，突破傳統研磨拋光在與低應力修整上的瓶頸，建立奈米級面型可控修正能力。 現階段透過非接觸式奈米修整製程，已成功製作高面型精度校準用平面鏡與長條型校準鏡，其面型精度分別達 1/50 λ 與 1/10 λ，可作為高階半導體光學系統與精密量測設備之關鍵基準元件。