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高速互聯與先進封裝整合

High-Speed Interconnect & Advanced Packaging

次世代面板級封裝金屬化技術

全濕式 TGV 金屬化製程,實現低成本、具量產優勢的高深寬比(AR 5–20)解決方案

全濕式TGV金屬化整合全濕式晶種層沉積與單一添加劑電鍍技術,突破AR 5–20高深寬比TGV填孔瓶頸,實現無孔洞(void-free)填銅及銅層附著力 >8 N/cm,支援8–12吋及310 × 310 mm、510 × 515 mm面板級玻璃基板量產,提供低成本、高可靠度先進封裝解決方案

高速互聯-右下底.png

姓名:呂曼寧/Man Ning Lu

電話:03-5915832

信箱:mnlu10270@itri.org.tw

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