半導體溼製程線上微粒計數系統

克服槽液顏色動態干擾，自主掌握原始感測訊號，提供槽體內部微粒子濃度變化(1-5um)，可導入溼製程電/化鍍及清洗等多種產線應用 微粒計數感測模組與清洗設備一站式整合運作，提供線上即時智慧感控(如馬達、超音波、水溫等)及預保養策決(換耗材)，縮短異常告警介入時間，減少廢品