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智慧運算與系統架構

AI Computing & System Architecture

物理導引AI離子佈植數位孿生系統

整合採用 NVIDIA PhysicsNeMo™ 訓練的 PINN 離子佈植模型,快速預測 3D 離子運動。


可在 < 10 秒內完成模擬,改善既有流程效率 >30%,並支援由 NVIDIA Omniverse™ Kit 驅動的互動式離子視覺化。

透過整合利用 NVIDIA PhysicsNeMo™ 訓練的物理資訊神經網路(PINN),以及由 NVIDIA Omniverse™ Kit 驅動的 3D 數位雙生技術,建構出半導體離子植入的視覺化模擬與分析平台。應用效益包括即時呈現離子佈植三維分布與深度、提供直觀視覺化判讀工具、擬真模擬離子在晶格中的擴散與製程演化、協助優化製程觀測與參數調整。主要執行內容如下:


  1. AI模型建立與訓練

  2. 3D數位孿生場景建構

  3. 離子分布視覺化與動態模擬

  4. 系統整合與平台部署 

智慧運算-右下底.png

姓名:謝靜婷/Mana Hsieh

電話:03-5917801

信箱:manahsieh@itri.org.tw

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